研究型原子力显微镜
Park XE7配有Park Systems的所有**技术，而且价格十分亲民。与Park Systems的其他上等型号相比，XE7在细节的设计上也相当用心，是帮助您准时且不超预算地完成研究的理想之选。
Park XE7通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描
Park Systems的先进串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。我们使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置，并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材，其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品（1 kg左右），频率*高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求，因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率（约10 kHz)。
XE scan system 适用于样品和探针**的独立XY轴和Z轴柔性扫描器 XY flexure scanner 平直正交的XY轴扫描，残余弯曲低 XE-Peformence 图9. (a)表示Park Systems XE系统的背景曲率为零，而(b)是传统的原子力显微镜系统的管式扫描器的典型背景曲率，(c)展示了这些背景曲率的横截面。 图9展示了XE系统(a)和传统原子力显微镜(b)扫描硅片时，未处理的成像图。由于硅片属于原子级光滑材料，因此图像中的弯曲大多数是扫描器所引起的。图9(c)展示了图9中(a)(b)图像的横截面。由于管式扫描器本身带有背景曲率，因此当X轴的位置移动15 μm时，平面外移动*大可达80 nm。而在相同的扫描范围内，XE扫描系统的平面外移动则不超过1 nm。XE扫描系统的另一大优势是Z轴伺服回应。图10是XE扫描系统在无接触模式下拍下的一个多孔聚合物球体（二乙烯苯）的图像，其直径大约为5 μm。由于XE扫描系统的Z轴伺服回应极其精准，探针可以**地沿着聚合物球体上的大曲率以及小孔平面结构移动，而不会压碎或粘连在其表面上。图11是Z轴伺服回应在平坦背景上高性能的表现。
XE scan system
XY flexure scanner
XE-Peformence
图9. (a)表示Park Systems XE系统的背景曲率为零，而(b)是传统的原子力显微镜系统的管式扫描器的典型背景曲率，(c)展示了这些背景曲率的横截面。 图9展示了XE系统(a)和传统原子力显微镜(b)扫描硅片时，未处理的成像图。由于硅片属于原子级光滑材料，因此图像中的弯曲大多数是扫描器所引起的。图9(c)展示了图9中(a)(b)图像的横截面。由于管式扫描器本身带有背景曲率，因此当X轴的位置移动15 μm时，平面外移动*大可达80 nm。而在相同的扫描范围内，XE扫描系统的平面外移动则不超过1 nm。XE扫描系统的另一大优势是Z轴伺服回应。图10是XE扫描系统在无接触模式下拍下的一个多孔聚合物球体（二乙烯苯）的图像，其直径大约为5 μm。由于XE扫描系统的Z轴伺服回应极其精准，探针可以**地沿着聚合物球体上的大曲率以及小孔平面结构移动，而不会压碎或粘连在其表面上。图11是Z轴伺服回应在平坦背景上高性能的表现。
在True Non-Contact?模式中，探针**与样品的距离在相互原子力的控制下，被成功地控制在几纳米之间。探针**振动幅度下，大大减少了探针与样品的接触，从而完好地保护了探针和样品。
True Non-Contact? Mode
Tapping Imaging
Longer Tip Life and Less Sample Damage
原子力显微镜探针的**十分脆弱，这使得它在接触样品后会快速变钝，从而限制原子力显微镜的分辨率和图像的质量。对于材质较软的样品，探针会破坏样品，导致其高度测量不准确。相应地，探针保持完整性意味着显微镜可以持续提供高分辨率的**数据。XE系列原子力显微镜的真正非接触模式能够极大程度保护探针，从而延长其寿命，并减少对于样品的破坏。下图中以1:1的长宽比展示了XE系列原子力显微镜扫描浅沟道隔离样品的未处理图像，该样品的深度由扫描电子显微镜(SEM)确定。在成像20次之后，探针几乎有没任何磨损。
Park XE7规格
可观察样品表面和探针的直视同轴光学系统 视场：480 μm X 360 μm（10倍物镜） CCD：120万像素（默认）, 500万像素, 可选（视场:840 μm X 630 μm）
磁学特性
介电/压电特性
· 压电响应谱
· 静电力显微镜（EFM）
机械性能
· 电化学池
· 手套箱 · 磁场发生器