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FS LINE采用大型扫描仪和大型水槽
可应对FineSAT系列装置不能应对的大型对象物（如FPD、面向太阳能电池的溅镀靶材、陶瓷零部件等不断大型
化的材料、零部件）的检查。
除了单焦点探头用的FS LINE以外，还准备了同时使用单探头和阵列探头，可以缩短大型对象物的检查时间的FS LINE Hybrid。
同时，作为选购件，还准备了用于检查筒状/圆柱状对象物的表面的旋转台。关于水槽和扫描仪尺寸，也请随时咨询。
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FS LINE
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FS LINE Hybrid
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探头方式
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单探头的机械扫描方式
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支持机械扫描或相控阵探头电子扫描两种方式
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接合部分的检查时间事例(*)
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约10分钟
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1分30秒
（通过相控阵探头的电子扫描进行测定）
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*(测定范围2,500×300mm、2mm间距扫描时)
特点、规格:
FS LINE能进行高精度的测定，还拥有基于FineSAT的使用方便性，並重视**性。
FS LINE Hybrid在低频范围的阵列探头上实现了高阻尼化。 这样，可同时进行靶材和背板的接合检查和靶材内部的孔隙检查。
而且，单焦点探头难以检查的边缘斜面用斜角电子扫描也可进行检查。
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型号
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新型装置
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同时发送接收数量
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*多32个振子
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支持振子数
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*多128个振子
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阵列方向电子聚焦
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可编程
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接收范围
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5, 10, 15MHｚ
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FS LINE Hybrid规格(阵列相关)
斜角电子扫描声束控制示意图
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扫描仪有效扫描范围:
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有效扫描范围
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750×800
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1,550×2,000
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4,000×2,000
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（単位：mm）
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有效扫描范围4,000×2,000的事例
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