针对失效分析和大样本研究的原子力显微镜
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20这款全球精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。
Park NX20具备有一无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。
****的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针**更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和**。
样品侧壁三维结构测量
对样品和基片进行表面光洁度测量
高分辨率电子扫描模式
扫描式电容显微镜
多种独有的砖利技术帮助顾客减少测试时间
CrN样品所做的针尖磨损实验 通过对比重复扫描情况下探针**的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。 AFM测量 借助真正非接触模式，探针**在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。 氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。
CrN样品所做的针尖磨损实验
AFM测量
借助真正非接触模式，探针**在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。
氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。
Park NX系列原子力显微镜
传统的原子力显微镜
Park NX20 规格
XY行程范围 : 150 mm (200 mm选配) Z行程范围 : 25 mm 对焦行程范围: 8 mm
光学物镜 10× (0.21 NA) 超长工作距离镜头的物镜 20× (0.42 NA)高分辨率，长工作距离镜头的物镜 同轴光源设计 10倍光学物镜和数码放大 光学物镜视场 : 840 × 630 μm (420 × 315 μm选配) CCD : 5M pixel