先进的非破坏性电性故障定位设备
LUXET Thermo 100 是一款全guo产化的锁相红外显微成像系统。配备了全自动运动系统、高灵敏度制冷型中波红外相机、广角镜头与大倍率显微镜头、高压源表，可以适用于晶圆、电路板等多种不同种类器件的失效点定位。
锁相红外测量过程是通 过调制施加的电流或电 压，利用视频锁相算法 来达到降低背景噪声的 目的。利用这个技术， 器件的失效点可非常精 准地被定位。
自主研发的测量软件,包含时
域重构、深度测量、图像暂
存、电压-电流测量等功能。
LUXET Thermo 100锁相红外显微成像系统规格：